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空氣采樣探測器在無塵室的應(yīng)用

  無塵室類場所由于持續(xù)供給易燃性原料,所以存在著相當大的火災(zāi)危險,例如半導(dǎo)體制造廠、研發(fā)機構(gòu)、制藥生產(chǎn)設(shè)施。由于這類場所中空氣流量較大并存在高濃度的氧氣,會加快火災(zāi)增長,并加快煙霧和火災(zāi)所生成的污染物的擴散。但是,主要的危險還是來自于所要保護的環(huán)境本身。即使最為微小的火災(zāi)也會污染生產(chǎn)設(shè)備、破壞產(chǎn)品,并導(dǎo)致不可恢復(fù)的破壞和停止生產(chǎn)。其它要注意的是對這些類型設(shè)施的實際氣流方式進行評估,確定發(fā)出的報警是真是假。
  
  根據(jù)上述的原因,在基于性能化的設(shè)計中,通過在概念設(shè)計階段對環(huán)境中存在的危險進行評價后,提出一套火災(zāi)防護系統(tǒng)的設(shè)計方案。而對于無塵室環(huán)境中,采用性能普通的感煙探測器,需要煙霧達到一定的濃度后才能報警,而不能極早期的對火災(zāi)風(fēng)險進行探;所以要想解決問題,只有安裝可靠的極早期空氣采樣煙霧探測系統(tǒng)能夠極大程度地降低火災(zāi)風(fēng)險,并將誤報警發(fā)生率降低到最低程度,避免誤報警所造成的代價昂貴的生產(chǎn)設(shè)備的停機。
  
  綜上所述無塵室的主要危害有以下幾種:
  
  一是設(shè)備設(shè)施所引起的火災(zāi);
  
  二是無塵室設(shè)施要耗用大量的電力,并且通常要常年持續(xù)不間斷地運行。如果在工藝過程中出現(xiàn)了電源中斷,所造成的制造停產(chǎn)會導(dǎo)致集成電路產(chǎn)量的大幅下降。而不間斷電源(UPS)裝置就用于防止無塵室出現(xiàn)斷電停機的危險,而其中的不間斷電源又進一步增加了產(chǎn)生火災(zāi)的風(fēng)險等等。
  
  針對上術(shù)兩種顯著危害性,我們探討詳細解決方案。
  
  空調(diào)箱采樣
  
  無塵室的空氣流量水平和等級很大程度上取決于空氣處理系統(tǒng)的規(guī)模和處理能力??諝馓幚硌b置(AHU)主要是一套規(guī)模很大的高功率裝置,用于保持無塵室超潔凈環(huán)境的高空氣流量。在空氣流量很高的環(huán)境下,一定要認識到所產(chǎn)生的煙霧會很快消散。而探測低濃度煙霧的最為有效的方式就是將采樣管道布置在空氣流動的直接線路處,并非??拷阎奈kU處(如工藝工具設(shè)備);在空氣處理裝置內(nèi)部發(fā)生了火災(zāi),只有火災(zāi)進入到實質(zhì)性階段,才能在無塵區(qū)探測出來。由于煙霧微粒會通過高效微粒空氣過濾器(HEPA)/超高效空氣過濾器(ULPA),所以推薦采樣管道布置在氣流剛剛流出空氣處理裝置的位置(參見圖1),或在采用多臺空氣處理裝置時,布置在各個空氣處理裝置的柜體之內(nèi)(參見圖2)。

空氣處理裝置系統(tǒng)上方的采樣
  圖1空氣處理裝置系統(tǒng)上方的采樣
  
  
  圖2


  
  為了得到空氣流入空調(diào)箱的實際路徑,最有效的方法是實施煙霧測試,在現(xiàn)場利用利用適當方式產(chǎn)生煙霧后,觀察煙霧流動的方向。由于氣流路徑并不是一成不變的,建議在安裝管路之前能夠?qū)嵤熿F測試,以決定采樣管路的最佳位置。
  
  最后要提醒的是,采樣管路的安裝不能影響到日后空調(diào)箱的維護工作。例如,一般而言這類型箱型空調(diào)均配備有灰塵過濾網(wǎng),且過濾網(wǎng)在適當?shù)臅r候必須清洗或更換。因此采樣管路的安裝必須不能影響日后這類型工作的進行。
  
  其次針對空氣流,我們也可以采用回風(fēng)口采樣方式;

  
  
  圖3


  
  在此必須強調(diào)的是,上述采樣孔間距是最低要求。一般而言,由于采樣管路上采樣孔數(shù)量的多寡在大部分的情況下并不會增加系統(tǒng)成本,因此建議在符合設(shè)計限制的條件下,可以適當?shù)目s小采樣孔間距,多設(shè)計幾個采樣孔。在這種情況下,因為煙霧在采樣孔的累積效應(yīng),采樣孔數(shù)的多寡并不會影響系統(tǒng)靈敏度。而且,在相同管長的情況下適當?shù)脑黾硬蓸涌讛?shù)量反而可以加大管路氣流流速,進而減少煙霧在管路中的傳輸時間。
  
  機柜采樣
  
  無塵室設(shè)施要耗用大量的電力,并且通常要常年持續(xù)不間斷地運行。如果在工藝過程中出現(xiàn)了電源中斷,所造成的制造停產(chǎn)會導(dǎo)致集成電路產(chǎn)量的大幅下降。而不間斷電源(UPS)裝置就用于防止無塵室出現(xiàn)斷電停機的危險,而其中的不間斷電源又進一步增加了產(chǎn)生火災(zāi)的風(fēng)險。
  
  在不間斷電源的柜內(nèi)或柜頂安裝的采樣裝置提供了對發(fā)生火災(zāi)的最早期探測。而AVA的探測器還可以配置成對多臺裝置進行采樣的方式。
  
  機柜采樣系統(tǒng)是將采樣點配置在機柜,保護機柜內(nèi)的設(shè)備。由于直接對保護對象采樣,這種方式可以得到最早期的火災(zāi)預(yù)警效果。對于針對設(shè)備機柜保護的空氣采樣管路系統(tǒng)設(shè)計時的主要在考慮單臺主機探測的機柜數(shù)量。探測機柜的總數(shù)影響到靈敏度(保護效果)以及報警時的火災(zāi)搜尋時間。
  
  AVA推薦使用CSD探測主機來探測機柜火災(zāi),每個CSD可以探測1~4個機柜,如此不僅可以精確定位火災(zāi)發(fā)生位置,而且靈敏度非常高。
  
  CSD使用毛細軟管,管路限制如下:
  
  一般使用外徑10mm的塑料軟管
  
  最多4個采樣孔
  
  最多4個支管
  
  單根軟管長度不超過4m
  
  分支軟管管長度不超過2m
  
  總軟管長度不超過6m


  圖4


  
  下圖是CSD典型的安裝方式


  圖5


  
  當然,機柜探測也可以使用QUARTAS或FANFARE探測主機,此時每路取樣管(獨風(fēng)扇及探測腔)的設(shè)計原則與天花板下采樣相同,每路最多可以有25個采樣孔,也就是說最多可以探測25個機柜。使用QUARTAS或FANFARE于機柜煙霧探測時,除了報警時需要搜尋的機柜數(shù)量較多之外,仍然可以達到非常高(VeryHigh)靈敏度的保護效果。


  圖6


  
  維護
  
  AVA空氣采樣探測系統(tǒng)能夠降低長期的維護和維修費用。而通常的維護工作不需采用常見的接近采樣管道或采樣點的方式來進行,而且維護工作中不存在搬運問題或例如中斷運行的要求(也就是關(guān)閉無塵室)。這樣對采樣點進行維修的需要也隨之降低,因此減少了拆卸過濾器的需求以及可能發(fā)生的相關(guān)費用。

 


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