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半導體傳感器一般由氣敏元件、加熱絲和外罩組成,氣敏元件是一層沉積在硅片上的金屬氧化物薄膜,兩端以金電極連接。氧化物表面吸收檢測氣體后,進行氧化還原反應,導致金屬氧化物的電阻發(fā)生變化,且能反映到樣品氣體的濃度變化上。
傳感器表面被加熱到200 - 2500℃之間的—個恒定溫度,以增加反應速率,降低環(huán)境溫度變化所帶來的影響。半導體傳感器非常簡單且很堅固,同時還是非常靈敏的,壽命更長,探測低濃度可燃氣體及—些有毒氣體,如硫化氫、一氧化碳等。
可燃氣體探測器的半導體式傳感器
注意:廣譜可燃氣體探測,氣體選擇性差,線性差,易惰化,需要定期活化。壽命一般為3年。
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